半導体用樹脂

感光性

バッファーコートおよびRDL（再配線層）用に設計および最適化されているポリベンゾオキサゾール（PBO）製品 富士フイルムの化学増幅系PBO製品は、高い信頼性と低コストを実現します。 • - PBOケミストリーをベースにした高コントラストのポジ型材料 • - g線、i線、またはブロードバンド光の露光装置を使用した光画像形成 • - 吐出量削減が可能な低粘度 • - 高い信頼性を実現する優れた機械特性 • - 高感度、少ない膜減り（dark film loss）。高いスループットを実現。 • - NMP（N-メチル-2-ピロリドン）フリー