フラッシュ測定機 STシリーズ
ワンタッチ検査、フラッシュ測定
0.1μm分解能/テレセントリックレンズ
特徴
部品の位置決め不要
同時測定を数秒で実行 視野内の最大数十~数百の製品の測定を数秒で完了できるため、測定作業に費やすリソースを大幅に削減できます。
エッジを正確に検出して測定。
測定のための照明条件を自動的に再現。
大きな視野 部分全体が見えるのでわかりやすい。
微調整不要の安定した検出。
仕様
- XY軸移動範囲:100mmx100mm(電動式)
- Z軸移動範囲:75mm(電動)
- カメラ:12MP白黒+8MPカラーデジタルカメラ
- モニター:12インチLCDモニター(WXGA:1280×800)
- レンズ:バイトセントリックレンズ
視野角
- 広視野測定モード120mm×140mm
- 高精度測定モード:200mm×200mm
- 分解能:0.1μm
測定精度
広視野測定モード
- ステージ固定(移動しない) - ±4μm
- ステージ移動 - ±(7+L/200 ) μm
高精度測定モード
- ステージ固定(移動なし):±2.5μm
- ステージ移動:±(4+L/200)μm
繰り返し精度
広視野測定モード
- ステージ固定(移動なし):±1μm
- ステージ移動:±2μm
高精度測定モード
- ステージ固定(移動なし):±0.5μm
- ステージ移動:±1.5μm
- 透過照明:テレセントリック照明
- 面照明:マルチアングル照明(電動式)
- 重量 : 35KG
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