XY軸ポジショニングステージ XXY350-105-450

電動式3軸コンパクト

GIGAGER XXY ウェハーアライメントステージ XXY350-105-450 は、XXY アライメントステージまたは UVW ステージとも呼ばれています。GIGAGERは、ユーザーの様々な設計ニーズに対応するため、中空と固体の両方の設計を提供します。3軸のコンパクト設計により、全高を大幅に削減し、軽量・薄型・省スペースを実現しました。 XXYアライメントステージは、XY0（テータ）ステージとも呼ばれ、高精度のアライメント用途に設計されています。XY平面上を移動し、XY平面の中心を軸に回転します。ターニスアライメントテーブル、またはXY回転ステージは、しばしばXY0と互換的に使用されます。XYθステージやUVWステージと同じ意味で使われることもあります。 Gレベル2pmからBレベル5umまでの3つの精度等級で、10機種があります。Bレベル5um。それぞれ、直線移動量±5mm。またXXYステージは、XY平面の中心を中心に±5度から±2度まで回転することができ、水平荷重は10kgから100kgまで対応します。 GIGAGERのアライメントステージは、Huawei社のような有名なシステムインテグレーターや工場で使用されています。Foxconn。Han's Laser などの中国国内の有名なシステムインテグレーターや工場から信頼を得ています。 ユーザーの様々な設計ニーズに対応するため、中空と中実の両方の設計を提供します。3軸のコンパクト設計により、全高を大幅に削減し、軽量化、薄型化、省スペース化を実現しました。