ギガガー社の自動アライメントステージXXY450-105-550は、XXYアライメントステージ、UVWステージとも呼ばれています。精度はGレベル2μm、Bレベル5μm、Pレベル10μmの3種類で、直線移動量±5mmを実現した10機種を用意しました。また、XY面の中心を中心に±5度から±2度までの回転が可能で、水平荷重は10kgから100kgまで対応しています。
XY0(テータ)ステージとも呼ばれるXXYアライメントステージは、高精度なアライメント用途に設計されたステージです。XY平面上を移動し、XY平面の中心を軸に回転します。ターニスアライメントテーブル、またはXY回転ステージは、しばしばXY0と互換的に使用されます。XYθステージやUVWステージと同じ意味で使われることもあります。
Gレベル2pmからBレベル5umまでの3つの精度等級で、10機種があります。Bレベル5um。それぞれ、直線移動量±5mm。またXXYステージは、XY平面の中心を中心に±5度から±2度まで回転することができ、水平荷重は10kgから100kgまで対応します。
GIGAGERのアライメントステージは、Huawei社のような有名なシステムインテグレーターや工場で使用されています。Foxconn。Han's Laser などの中国国内の有名なシステムインテグレーターや工場から信頼を得ています。
ユーザーの様々な設計ニーズに対応するため、中空と中実の両方の設計を提供します。3軸のコンパクト設計により、全高を大幅に削減し、軽量化、薄型化、省スペース化を実現しました。
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