光学測定システム C10178-03E

厚さユニバーサル規格フィルム用

Ｃ10178は、分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。分光干渉法により短時間で高感度・高精度に膜厚を測定します。また、弊社製品のマルチチャンネル分光器PMAを検出器として採用していますので、各種光学フィルタやコーティング膜などの膜厚測定と同時に、量子収率計測や反射計測、透過・吸収測定など多彩な測定項目を計測することが可能です。 • 高速・高精度解析（150 nm～50 μmの膜厚に対応） • リアルタイム測定 • 高さ変動に強い • 光学定数（n、k）解析 • 外部機器から制御 • 量子収率や反射、透過・吸収の計測が可能