測定用監視装置 C10346-01

加工放出プラズマ

C10346-01は、半導体製造工程の中でプラズマを使用するエッチング、スパッタ、CVD等において、プロセス中のプラズマ発光を広帯域にリアルタイムで検出する装置です。各種解析機能により、「エッチングやクリーニングの終点判定条件設定や自動判定」、「プラズマ種推定」、「混入不純物や異常放電の監視」等に利用できます。 仕様 • 型名 : C10346-01 • 測定波長範囲 : 200 nm～950 nm • 測定波長精度 : ±0.75 nm • 波長分解能（FWHM） : <2 nm • 電源 : AC100 V～AC240 V（50 Hz/60 Hz） • 消費電力 : 約70 VA • デジタル出力端子（判定信号出力） : TTL 最大5チャンネル（計測開始トリガ信号使用時は最大3チャンネル） • デジタル入力端子（計測開始トリガ信号） : TTL 1チャンネル　チャンネル5を使用 • デジタル出力端子（ビジー信号） : TTL 1チャンネル　チャンネル4を使用 • アナログ出力端子 : 2チャンネル　0 V～10 V • ファイバプローブ入射端形状 : SMA • 通信インターフェース : USB 2.0 Type B • 動作周囲温度 : +10 ℃ ～ +30 ℃