C15400-30-50Aは、TDI方式に加え、低エネルギーX線に対して高感度を実現する新手法を採用することで、薄物・軽元素素材の検査画像を高いコントラストで取得できます。
これにより、CFRP等に代表される軽元素・軽量化素材やシート材料もちろん、CuやAI、Ni、Fe等の金属膜といった可視光を透過できない材料の厚みムラ測定が可能となりました。
特長
対応ラインスピード:最大153.8 m/分
画素数:2048(H)pixels × 128(V)pixels + 2048(H)pixels × 128(V)pixels
検出幅:290 mm
画素サイズ:146.5 μm × 146.5 μm
デュアルエナジー検出に対応
X線を用いたインライン膜厚イメージング
可視光を用いた従来の膜厚測定方式では、可視光を透過する樹脂膜等の測定が可能な一方で、光を透過しない金属膜等の対象物に対しては、膜厚を測定することができませんでした。X線イメージングを用いることで、樹脂膜等の材料はもちろん、CuやAI、Ni、Fe等の金属膜といった可視光を透過できない材料の厚みムラ測定が可能となり、検査対象の幅が広がります。
ラインセンサカメラを用いた全面検査
従来のポイントセンサを使用した厚みムラ測定では、手法上、測定漏れが発生しますが、ラインセンサカメラを用いた測定では、対象物を面で撮像するため、測定漏れが発生しません。検査精度が向上し、製造工程への高精度なフィードバックが期待できます。