MEMSミラー S13989-01H

正方形レーザー偏向

電磁駆動式のレーザ2次元走査型MEMSミラー 当社独自のMEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)技術を応用した電磁駆動式のミラーです。ミラーの下に磁石を配置することで小型化し、気密封止パッケージの採用により高信頼性を実現しています。ミラー周辺のコイルに電流を流すと、フレミングの法則によってローレンツ力が発生し、ミラーを駆動します。当社のMEMSミラーは、広い光学的振れ角、高いミラー反射率も実現しています。 ■特長 ・小型 ・広い光学的振れ角 ・低電圧駆動: 機器への搭載に適している ・高信頼性: 気密封止パッケージ ・低速軸: リニア動作が可能 仕様 • タイプ : 2軸ラスタースキャン • 動作モード : 高速軸: ノンリニアモード(共振モード) • 低速軸: リニアモード • ミラーサイズ : φ1.23 mm • ミラー材質 : アルミニウム • 光学的振れ角 : 高速軸: ±20° • 低速軸: ±12 ° • 駆動周波数 (max.) : 高速軸: 29.3 kHz (typ.) • 低速軸: 100 Hz