光学顕微鏡 C15765-01

実験用検査用倒立型

PHEMOS-Xは半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障箇所を特定する高解像度エミッション顕微鏡です。 超高感度カメラを２台搭載可能 発光解析と発熱解析、または可視光と近赤外光といった異なる検出波長域をカバーすることで、サンプルや不良モードに合わせた解析技術を選択できます。 OBIRCH、DALS、EOP用の光源を最大5個まで搭載可能 様々なサンプルへの対応が可能な光学ステージを搭載 スーパーインポーズ機能により、高解像度のパターン像に検出した信号像を重ね合わせて表示し、容易に検出箇所を特定することができます。 また、コントラストエンハンスメント機能により、低コントラスト像を明確な画像に改善することが可能です。 表示機能 アノテーション コメント、矢印、その他の表示を画像上の任意の位置に表示します。 スケール表示 画像上にスケール幅を線分で表示します。 グリッド表示 画像上に縦横方向に等間隔のグリッド線を表示します。 サムネイル表示 サムネイル化した画像を蓄積保存することができ、また元の画像に再生することが可能です。 マルチ画面表示 6画面にパターン像、発光像、スーパーインポーズ像および参照画像を一度に表示できます。