PECVD貯蔵マシン FALO

薄膜光起電用途用

高効率結晶シリコン電池のプロセスにおける緻密なアルミナやその他のバックパッシベーション膜材料の成長に適している。 様々な膜を連続的に切り替えます； ボートを押す機構を両端でサポートし、ジッターをなくし、速度を向上させ、負荷を増加させ、信頼性を大幅に向上させる（特許）。ボートの出入り時間は20秒以内（ボートの離脱を除く）； 特殊形状の二重炉扉機構により熱損失を低減（二重炉扉構造特許）； グラファイトボート電極技術：電気電極の表面接触、前後の電極を補い、尾電極は炉管の外で調整可能； 急速冷却炉体：最新の特許技術を採用し、炉体温度を必要な温度まで迅速に下げることができ、冷却速度を25%以上向上させ、炉管内の温度均一性を大幅に改善します； 特許を取得したボート収納位置の平行放熱モード：冷却効果を向上させ、冷却時間を15％以上短縮させ、コンソールの前面から底部と吸気口を避け、コンソールの内部清浄度を向上させる； 石英管補助吊り具：石英管の取り付け、メンテナンス、交換の難易度を大幅に下げる； 間接プラズマより膜のコンパクト性が高い； ALDよりパッシベーション効果が高い。