多層塗工機

自動光起電用途用

半導体と太陽光発電分野に適しています。太陽電池分野のTOPConプロセスセルでは、LPCVD装置はトンネル酸化膜/ポリ層の準備をワンストップで完了することができます。熱酸素とポリ層成膜の組み合わせは、i/d-Poly成長プロセスとの互換性を持ちながら、生産能力を大幅に向上させることができます。 主な特徴 成熟した大容量プロセス、デュアルモード温度制御技術、フィルムゲージ保護技術； 多様なコーティング技術：多層複合膜、ドープポリシリコン技術； 特許取得の急速冷却炉：最新の特許技術により、炉体温度は要求温度まで迅速に降下し、冷却速度は25%以上向上し、炉管内の温度均一性を明らかに向上させることができます； 高速適応圧力閉ループ制御技術； 完全なアーキテクチャーと卓越した性能のMES/CCRMシステム； 産業用コンピューターとモジュール式プロセス制御ソフトウェアを統合； 包括的な停電安全処理とフランジ水の異常保護。