拡散炉 N-TOP

チャンバーガス高温

N-TOPコンは、N型電池の工業化に向けた主流の技術ルートの一つとなっている。ホウ素拡散は、主に電池製造における前面側のPN接合を作るために使用され、重要な工程の一つである。 炉体は高温プロセス（900~1100℃）用に特別設計されており、炉体の変形を効果的に防止し、炉体の耐用年数を延長することができます； 急速冷却炉体：最新の特許技術により、炉体温度は要求温度まで迅速に降下し、冷却率は25%以上向上し、炉管内の温度均一性は明らかに改善されます； 先進的なカスケード温度制御とインテリジェント冷却技術により、温度安定性と温度制御精度が向上し、温度設定時間が短縮されます； 先進的な完全クローズドループ圧力制御システムは、プロセスチャンバー内の空気圧をリアルタイムで正確に検出し、制御することができます； 効率的な排ガス処理システム、乾湿分離、自動排出、メンテナンス周期を大幅に延長し、メンテナンスコストを削減し、稼働率とプロセスの安定性を確保する； 革新的な不陸プロセス方式、プロセス中、石英ボートを浮遊させ、石英管の応力と変形を効果的に減少させ、石英デバイス間の粘着性を減少させ、耐用年数を延長させる； 独特な炉扉の密封設計は金属と反応室の隔離を実現し、熱損失を減少し、密封リングの寿命を大幅に延長し、圧力の安定性を確保する；