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自動塗工機 PECVD (SiNx)

自動塗工機 - PECVD (SiNx) - HANWHA MACHINERY
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特徴

特性
自動

詳細

本装置は、結晶シリコンウェーハの表面に反射防止膜を塗布し、反射を抑えてセル効率を最大化するための装置です。 仕様 ハイスループット：6,776枚/時（640枚/艇）。 サイクルタイム：34分 稼働率: 97

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