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自動塗工機 T-AlOx (AlOx + SiNx)

自動塗工機 - T-AlOx (AlOx + SiNx) - HANWHA MACHINERY
自動塗工機 - T-AlOx (AlOx + SiNx) - HANWHA MACHINERY
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特徴

特性
自動

詳細

本装置は、ウェーハの裏面にAlOx層とSiNx層を形成し、再結合率を高めることで、裏面透過光を最小限に抑え、光の反射を最大化し、セル効率を高めるものです。 仕様 ハイスループット：5,485枚/時（640枚/艇）。 サイクルタイム：42分 稼働率: 97

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