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特徴
方法
ALD
応用
太陽光
詳細
本装置は、結晶系太陽電池のウェーハ前面に熱原子層堆積法(ALD)によりAl2O3薄膜を堆積させ、パッシベーション層を形成することで効率を高めるものです。 仕様 ハイスループット:12,800枚/時(1,600枚/艇)。 サイクルタイム:30分 稼働率:97
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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。
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