キャビネット炉 LP拡散
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特徴
- 形状
- キャビネット
- 機能
- 拡散
詳細
結晶シリコン太陽電池の重要部品である「p-n接合」を形成するための、リンとボロンのドーピングを行う装置です。
仕様
POCl₃
ハイスループット：7,854枚/時（2,400枚/艇）。
サイクルタイム：110分
アップタイム：99
BBr₃
ハイスループット：3,600枚/時（2,400枚/艇）
サイクルタイム: 240 min
稼働率：99
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