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キャビネット炉 LP
酸化

キャビネット炉
キャビネット炉
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特徴

形状
キャビネット
機能
酸化

詳細

本装置は、Edge Isolation、PSG除去後のシリコンウェーハの表側にパッシベーション層を塗布することにより、セル効率を向上させる装置です。 仕様 ハイスループット：14,400枚/時（2,400枚/ボート） サイクルタイム：60分 稼働率: 99

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。