チャンバー炉

乾燥掃除用

IRヒーターによる液晶プレートの加熱・乾燥・焼成を行うオーブンで、液晶製造工程では、フォトレジストやポリイミドなどの印刷終了時の洗浄後の焼成・乾燥が主目的です。小型ガラスから8Gガラスまで、様々な実績があり、国内外のあらゆるお客様に供給しています。優れた性能を持つIRヒーターと空気分配システムの採用により、高精度な温度制御と優れたアウトガスを実現し、高純度（クラス10）、メンテナンス性、小さな設置場所、低いランニングコストなども本装置の強みです。