チャンバー炉

乾燥掃除用ガス

IRヒーターで有機EL板を加熱・乾燥・焼成するためのオーブンで、有機EL製造工程での主な用途は洗浄後の焼成・乾燥である。有機ELの焼成工程に最も適した装置であるため、世界最大のシェアを誇っています。優れた性能を持つIRヒーターと空気分配システムの採用により、高精度な温度制御と優れたアウトガスを実現し、その他、高純度（クラス10）、メンテナンス性、小さな設置場所、低いランニングコストなどの強みがあります。また、最新のプロセス技術トレンドであるO2濃度制御を実現することが可能です。