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- HANWHA MACHINERY
縦型自動収納システム カセット用プレート用湿度および温度一定制御付
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特徴
- タイプ
- 縦型
- 応用
- カセット用, プレート用
- その他の特徴
- 湿度および温度一定制御付
詳細
ウェーハのFOUP、FOSB、POD、カセットを保管・仕分けする、半導体向けクリーン物流システム用の自動保管装置です。チャンバー型、ラック型など、半導体プロセスごとの要求仕様に合わせた様々な形態で実装することが可能です。
仕様
環境クリーン度クラス1～クラス1000
速度：1.5m/sec.
加減速：2.5m/sec2
振動RMS0.5Gを超えないこと
パージ常時PN2パージ
環境制御：湿度、温度、圧力、酸素濃度
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