ヘリウム充填・回収リーク検出システムは、主にヘリウム充填・真空大リーク検出システム、真空脱ガスシステム、ヘリウム充填昇圧システム、ヘリウムガス回収システム、組立ライン伝送システム、電気制御システム、吸引ガン、ヘリウム質量分析計リーク検出器などで構成される。
ヘリウム充填・回収リークディテクターシステムの機能は、ヘリウムガスの充填とリサイクルによるリークポイントの検出を正確かつ迅速に行い、検出されたシステムや設備の気密性と安全性を確保し、製品の品質を向上させ、リークによる損失やリスクを回避することです。
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