化学気相成長貯蔵マシン HCTE-VCM-003

製品紹介 化学蒸着システムの機能は、基板上に薄膜を蒸着し、材料特性を向上させ、機能性デバイスを製造し、表面改質を達成し、薄膜の厚さを正確に制御し、製品の品質を向上させ、新材料の研究開発を支援し、集積回路製造などに使用することであり、高いプロセス制御性、大規模生産が可能であり、場合によっては低コストであるという利点がある。