• エネルギー分散型蛍光X線スペクトロメーターによる、素材分析およびISO 3497とASTM B 568に準拠した膜厚測定
• XDLMの最小測定スポット: 約0.1 mm; XDLの最小測定スポット: 約0.2 mm
• X線源:タングステンX線チューブ、またはタングステンマイクロフォーカスチューブ(XDLM)
• X線検出器:比例計数管
• 固定または切替式コリメーター
• 固定または自動切替式一次フィルター
• 手動またはプログラム可能なXYステージ
• 大きなプリント配線板など向けのスリットの入ったハウジング
• 測定位置の簡単調整のためのビデオカメラ
• 完全保護された認定されたデバイス
FISCHERSCOPE® X-RAY XDL®およびXDLM®測定器は、X線照射は上から下となります。これにより、平坦ではない試験片でも測定が容易になります。つまり複雑形状でも測定ができます。
X線を上から下へ照射する他の利点として、測定タスクをプログラム化して自動測定が組めます。プログラム可能な測定ステージを搭載しており、XDL 240およびXDLM 237は、表面をスキャン(走査)して測定することにも適しています。大型パーツの膜厚測定ができ、また多数の小型パーツの自動測定もできます。
XDLMは、マイクロフォーカスチューブを搭載しており、特に小さなサンプルの測定に適したデバイスです。エレクトロニクス産業などにおける直径0.1mmの測定スポットにも対応できます。