FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ LDは、コネクターや電子部品向けの業界最高水準の蛍光X線式測定器です。ポリキャピラリーレンズとサンプルとの距離が約12 mmあり、実装済みPCBのような複雑な形状の測定が可能です。優れた安定性と大きな励起強度を得ることができます。シリコンドリフト検出器、ロングディスタンス高性能ポリキャピラリーレンズ、デジタルパルスプロセッサDPP+を搭載し、高いカウントレート、短時間測定で正確かつ高い再現性の測定を可能にします。
特長
• クラス最大の測定距離約12 mmを実現
• 最大14 cmのサンプル高さに対応
• μ-XRFで微小スポットをさらに高性能にするタングステン陽極のマイクロフォーカスチューブUltra。モリブデンアノードはオプションです
• 4種類の切替式一次フィルター
• 50 mm² の面積を持つ非常に強力なシリコンドリフト検出器により、薄膜の高精度測定が可能
• 自社製ポリキャピラリーレンズにより、最小測定スポット約60μm、短時間測定、高い励起強度を実現
• デジタルパルスプロセッサDPP+による高カウントレート、測定時間の短縮、測定結果の再現性向上
• S(16)からU(92)までの元素分析、へリウムパージ(オプション)、最大24元素の同時測定が可能
• 高精度なプログラム可能なXYステージ(位置決め精度<5 µm)により、小さな構造物の自動測定に対応
代表的な応用分野
• 実装済みの複雑な形状のプリント基板、コネクター、ボンディング面、SMD部品や細いワイヤーなど、微小部品や微小構造部分の測定
• エレクトロニクスおよび半導体産業における機能膜の測定
• 自動測定(品質管理)
• 複雑な多層膜システムの測定