高度な研究を可能にする専門的なガス分析システム
Hiden HPR-20 R&D スペシャリスト・ガス分析システムは、発生するガスや蒸気をモニターするためのベンチトップ型質量分析計です。
熱分析 TA/MS
触媒反応
燃料電池
CVD / MOCVD / ALCVD
環境モニタリング
グローブボックス・モニタリング
ガス分離研究
マッドロギング(石油探査)
大気近傍XPS, APXPS
トリプルフィルター質量分析計が搭載されており、分解能とアバンダンス感度が向上し、スペクトル干渉を受けても最終的な検出限界は5ppbとなります。
HPR-20 R&D には、熱機器に接続するための幅広いインターフェースが用意されており、ガスや蒸気を連続的にサンプリングするために、当社の加熱式石英不活性キャピラリー (QIC) が搭載されています。
バッキングおよびバイパスポンプには、高性能スクロールポンプを採用しています。ガスサンプリングは連続的に行われ、ガスサンプルの流量は20ml/minの範囲でユーザーが設定・選択できます。
トリプルフィルター質量分析計
質量範囲オプション 200、300、500、1000amu
アバンダンス感度の向上
5 ppbまでの検出が可能
APSI-MSソフトイオン化モード
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