四重極分光器 ToF-qSIMS

二次イオン質量測定用分析用

革新的な飛行時間型四重極SIMSシステム Hiden TOF-qSIMSシステムは、ポリマー、医薬品、超伝導体、半導体、合金、光学・機能性コーティング、誘電体などの幅広い材料の表面分析や深さ方向のプロファイリング用途に設計されており、サブppmレベルの微量成分の測定が可能です。 表面分析 薄膜・表面工学 表面科学 ナノテクノロジー 燃料電池 新しいHiden TOF (time of flight) アナライザーは、SIMSを強化し、高性能四重極SIMSのダイナミックレンジと、飛行時間型SIMS (TOF-SIMS) のパラレルデータ収集と分子フラグメント分析の利点を併せ持っています。 TOF-qSIMSの機能により、ハイパースペクトルイメージングが可能となり、空間的に分解された詳細な材料分析が可能となります。 TOF-qSIMSシステムは、静的なTOF-SIMSと、四重極SIMSによる高ダイナミックレンジのデプスプロファイリングの包括的な機能を提供します。 高性能SIMS分析のために完全に統合・最適化されたTOF-qSIMSワークステーションシステムには、マルチポートUHVチャンバー、TOF-SIMSアナライザー、Hiden's MAXIM四重極SIMSアナライザー、IG20ガスプライマリイオンガン、Csメタルイオンガン、そして幅広いサンプルレンジに対応するように設計されたサンプルホルダーが含まれています。 高感度SNMSモードを搭載し、金属薄膜、導電性・非導電性酸化物、その他の合金材料やコーティングの定量分析が可能です。酸素フラッド、電子チャージ中和、真空ベークアウトなど、SIMSの機能向上のための設備が標準で装備されています。 SIMS Mapper PCソフトウェアオプションでは、サンプルエリアの2Dおよび3Dビューによるマッピングが可能です。