超高真空温度差脱離(TPD/TDS)研究用システム
TPDワークステーションは、加熱されたサンプルステージを備えたマルチポートUHVチャンバーと、究極の感度と時間分解能を実現するデジタルパルスイオンカウント検出器を備えた高精度トリプルフィルターアナライザーを備えています。
触媒反応
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燃料電池
Hiden TPD Workstation は、超高真空昇温脱離 (TPD) 研究のための完全な実験システムです。トリプルフィルタ質量分析計は、冷却されたシュラウドで構成されており、サンプルからの脱離生成物によるバックグラウンドを最小限に抑えながら、分析計の感度を最適化します。また、迅速なサンプル交換を可能にするために、サンプル移送機構を備えた高速サンプルロードロックが搭載されています。
高速データ収集のためのHiden 3F PIC質量分析計 (500データポイント/秒以上)
エリプソメトリーなどの追加装置を取り付けることができるマルチポートUHVチャンバー
ゲートバルブとビューポートを備えたリニアサンプルトランスファー機構とロードロック
1000℃に加熱されたサンプルステージ
試料と検出器を最適に配置するZ-drive
ベークアウトジャケット (最大200 °C)
実験プロトコルの統合ソフトウェア制御
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