質量分析計 HMT

四重極プロセス監視用

真空診断とプロセスモニタリングのためのデュアルモードRGAシステム Hiden HMT 四重極型質量分析計は、差動排気を必要とせずに 5×10-3mbar までの圧力で動作可能な、ユニークなデュアルモード RGA システムです。この圧力での動作は、特別に設計されたイオン源と四重極フィルタの組み合わせと、アバンダンスの非線形性を補正するソフトウェアによって実現されています。このユニークな高圧仕様により、HMTはプロセスモニタリング用途に最適です。 残留ガス分析 真空処理 大気圧下XPS、APXPS 薄膜光学コーティング CVD/MOCVD/ALD HMTは、真空プロセス分析と残留ガス分析のための装置で、プロセス実行中の状態チェックや、予期せぬ汚染物質を検出するためのプロセス分析には欠かせません。HMTシステムは、従来の四重極RGAと同じようにRGAモードで動作させることもできます。ファラデー／電子増倍管のデュアル検出器により、10～13mbarの範囲の分圧感度が得られます。モニタリングできる代表的なプロセスには、CVD、エッチング、PECVD、PVDなどがあります。トラブルシューティングとモニタリングのためのプロセスRGAツールです。 5×10-3mbarまでの高圧動作が可能なHMTモード（最小検出可能分圧5×10-8mbar P < 10-4mbar（最小検出可能分圧2×10-11mbar）での高感度動作のためのRGAモード 100 amuの質量範囲、リモート（PC） MASsoft Professional PCソフトウェアによる制御インターフェース 100 amuの質量範囲、MASsoft Professional PCソフトウェアによるリモート（PC）コントロール・インターフェース 安定性（24時間で高さの変動が±1％以下 RS232、USB、またはイーサネットLAN経由での複数システムによるMASsoftソフトウェアの制御