質量分析計 HALO RGA

実験用ガス分析データ取り込み用

残留ガス分析用 真空指紋分析、リーク検出、トレンド分析のための残留ガス分析装置です。シンプルで直感的なソフトウェアにより、リアルタイムでのデータ取得、表示、保存が可能です。 残留ガス分析 リーク検出 脱着 アウトガス研究 ベークアウトサイクル ポンプ性能 プロセスガスのコンタミ 薄膜光学コーティング 残留ガス分析装置は、全圧ゲージなどと比較して、真空の健全性に関する豊富な追加情報を提供します。 リークディテクションはどのようなガスでも使用できますが、実験室ではヘリウムやアルゴンが一般的に好まれます。 水蒸気や炭化水素の汚染も簡単に検出できます。残留ガス分析計は、その特異性、スピード、ダイナミックレンジにより、真空診断に最も有用なゲージの一つとなっています。 HALO RGA 残留ガス分析装置は、100、200、または300amuの質量範囲で、2×10-11mbarまで検出可能なファラデー検出器と、2×10-13mbarまで検出可能なファラデー／二次電子増倍管（SEM）のデュアル検出器をご用意しています。 100、200、300 amuの質量範囲オプション ヒストグラム、トレンド分析、アナログピーク表示に素早くアクセス可能 ミックスモードスキャン、トレンド分析、ヒストグラム、アナログピークをマルチウィンドウで表示（例 自動分析による真空種の識別 グラフィカルなトレンド分析データと表形式のトレンド分析データを同時にリアルタイムで表示 イーサネット経由で複数のシステムからデータを取得 編集機能を備えた統合マススペクトルライブラリ ASCIIフォーマットへのデータエクスポート機能