ヒデンクラスターコンポーネントには、9mmと20mmのポール径の四重極アセンブリがあり、クラスター分析に必要な高質量伝送に対応するために、最適な周波数で動作するハイパワーRFが搭載されています。
四重極アナライザーは、一次マスフィルターに先行し、後続するユニークで独立駆動のRFのみの二次フィルターステージを持つ精密組立式トリプルマスフィルターです。酸化物コーティングされたイリジウムフィラメントを持つUHVロープロファイル電子衝撃イオナイザーとパルスイオンカウンティングシングルチャンネル電子増倍検出器が標準装備されています。ファラデー検出器のオプションにより、ダイナミックレンジは5 x 1010に拡張されます。
クラスターシリーズの質量範囲のオプションは以下の通りです:1000、2500、4000、5000、20,000 amu
四重極型分析計には、中性種の分析用に電子衝撃式イオンソースが搭載されています。イオン種は直接測定することができ、分析装置の基準電位(ポールバイアス)は+/-100 eVの範囲で可変です。
高精度トライフィルター四重極アセンブリ
エアゲージの適合性テスト済み
9mmと20mmのポール直径のオプション
20,000amuまでの質量範囲オプション
90度イオンビーム偏向装置オプション
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