質量分析計 XBS

四重極高速データ取り込み用

MBE蒸着アプリケーションにおけるマルチソースモニタリングのためのシステム 分子ビームソースは、再現性のある生産品質の薄膜成長のために正確な制御が必要です。HidenのXBS (クロスビームソース) システムは、蒸着の正確な制御のために、リアルタイムの信号出力で複数のソースをin-situでモニタリングします。HidenのXBSは、分子線質量分析で使用される優れたツールです。 MBE モニタリングと制御 分子ビーム研究 マルチビームソース解析 高性能RGA 脱着 アウトガス解析 ベークアウトサイクル プロセスガスのコンタミネーション Hiden XBS RCシステムは、複数のビームソースを同時にモニターするために設計された四重極型質量分析計で、四重極軸に直交する70°のコーンからビームを受け入れることができるユニークなシステムです。 ビームアクセプタンスアパーチャは、プロセスチャンバー内の各ビーム源の位置に合わせて個別に設定されており、交換可能なプラグイン要素として製造されているため、チャンバーが変更された場合でも後から変更することができます。 XBSシステムの高感度と高速データ収集により、毎秒0.01オングストロームの成長速度を制御する信号が得られます。 高感度、100%から5ppbまでの検出力強化、510amuまでの質量範囲 強化された長期安定性（24時間にわたる高さの変動は±0.5％以下 クロスビームイオンソース、横軸に対して±35°のビームアクセプタンス ソフトイオン化と出現型質量分析のためのイオンソースコントロール 高い質量透過率を実現するための感度向上、マススケールの自動調整 2mmのビームアクセプタンス - ユーザーのアプリケーションに合わせて設定可能 RF専用のプレフィルターステージによる耐コンタミネーション性の向上