密閉されたパッケージのリーク解析のためのユニークな専用システムです。
Hiden LASシステムは、品質管理や研究開発の観点から、密封されたパッケージからのリーク率を分析するためのシステムです。
様々な充填ガスや不純物の分析が可能です。
自動化されたシステムは、指定されたリークレートの最小値に基づいて、合格/不合格の分析を行います。
ガス分析
残留ガス分析・真空処理
半導体関連
Hiden Leak Analysis System は、品質管理や R&D 環境で簡単に使用できるように自動化されており、マイクロガスシリンダーやポータブルバッテリーアセンブリなどの小~中サイズの密閉パッケージの漏れにくさを分析するために設計されています。
速さと感度に優れた質量分析装置を用いて、リチウムイオン電池などの密封パッケージを分析し、リーク率や製造品質を判定するための迅速で効果的なソリューションを提供することができます。 ヘリウム、アルゴン、二酸化炭素などの代表的な充填ガスや、水蒸気などの不純物を含む、広範囲の充填ガス、トレーサーガス、揮発性電解質種を分析することができます。このシステムは、既知のリークレート標準に対する自己校正チェックにより、1×10-7 mbar.l/s未満のリークレートを検出することができます。
ハイデンの専用ソフトウェアと併用することで、システムは簡単に使用でき、指定されたリークレートの最小値に基づいて自動で合否判定を行います。ソフトウェアは特定のアプリケーションに合わせてカスタマイズすることができます。
自動操作
ハイスループット
コンタミネーションフリーのドライな試験方法
高感度
非破壊検査
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