四重極分光器 MAXIM

二次イオン質量分析用

静的および動的なSIMSおよびSNMSアプリケーションのためのシステムです。 Hiden MAXIM四重極SIMS分析装置は、正負、静的、動的、ニュートラルな分析アプリケーションのための最先端の二次イオン質量分析装置です。 MAXIMは、プローブ軸に対して30°の角度でイオンを受け入れるための一体型エネルギーフィルター、高透過率SIMS抽出光学系、トリプルマスフィルター、パルスイオンカウント検出器、制御電子機器を含みます。 30°の受入角度は、MAXIMの軸をサンプルの平面に平行に設置することを可能にし、他の光やイオン光学系のためにサンプリングエリアのクリアな視界を残すことができます。MAXIMは試料の帯電に強いので、絶縁体の分析に理想的なプローブです。また、大きなアクセプタンスアングルにより、広い範囲のイメージングが可能です。 質量範囲オプション300amu、500amuまたは1000amu 検出器イオンカウンティング検出器、正・負イオン検出、107cps マスフィルタートリプルフィルター ポール径：9mm ベークアウト: 250°C イオンエネルギーフィルター30° 角度受容 イオナイザー電子線照射、SNMSおよびRGA用シングルフィラメント