Langmuirプローブ ESPion

プラズマ電位分光計自動

プラズマ診断のための先進的ラングミュアプローブ Hiden ESPionプローブによるI-Vプラズマ特性の定期的なモニタリングは、プラズマの安定性と再現性に関連する直接的な情報を提供します。プラズマパラメータの自動リアルタイム外挿により、特性評価や均一性モニタリングに使用するプラズマ特性の詳細情報を提供します。 プラズマの特性評価 プラズマエッチングとALE HiPIMS ダイヤモンドライクカーボン（DLC）コーティング パルスレーザー堆積法(PLD)コーティング SiBCN膜のDCマグネトロン蒸着法 ESPionシステムは、プラズマ解析モデルとしてOrbital Motion Limited（OML）とAllen Boyd Reynolds（ABR）を標準採用しています。 Hiden社製の自動Zドライブにより、プラズマ体積を空間的に分解して測定することができます。標準的なZ-driveの移動オプションは300mm、600mm、900mmです。 15スキャン/秒の収集速度、D-O-Eインターフェースで自動、セミ、マニュアル分析が可能です。 パッシブRF補正のパイオニア ESPionは市販のユニットで最も高いブロッキングインピーダンスを有しています。 4.13.56MHzで25MOhm（100kOhmの場合）。 高温プラズマ用ガス冷却マルチインダクターチェーン ガス冷却マルチインダクターチェーンは、他の周波数にチューニングするためにユーザーが交換可能です。 リファレンスプローブにより、低周波の影響を補正 プラズマ電位の変化（陽極酸化処理されたチャンバー壁など）、ノイズ（電源など）など ESPionは、市販のプローブの中で最速のパルスプラズマ仕様を実現 ESPionSoftには、必要なゲーティング回路がすべて標準装備されています。 300mm、600mm、915mmのオートリニアドライブオプション インターロック式アイソレーションバルブ、90°プローブ、リニアとロータリーの複合ドライブのオプションがあります。 プローブ先端の汚染を抑えるセルフクリーニングサイクル