複屈折測定システム Exicor® DUV series

Exicor® DUVおよび193 DUVシステムは、深紫外波長での複屈折を測定するシステムです。 2003年に「R&D100」を受賞したExicor DUVシステムは、フッ化カルシウム（CaF2）レンズ材料の固有複屈折を157 nmの適用波長で評価するために開発されたシステムです。 続くExicor 193 DUVは、193nmリソグラフィーシステム、特に最高品質の光学系が要求される液浸193nmリソグラフィーシステムに用いられる様々な材料に着目しています。 これらのシステムはいずれも、技術の限界を押し広げる精密光学材料メーカーが要求する使用波長での測定原理を満たしています。 Exicor DUV および 193DUV システムは、リソグラフィー業界の主要な光学メーカーが DUV リソグラフィー波長（157 nm、193 nm、248 nm）でレンズブランク材やフォトマスクブランクの複屈折を測定するために使用する主要なシステムです。 これらのシステムは、最大400mm×400mm、厚さ200mm以上の光学部品を測定するための堅牢なフレームとヘビーデューティーなモーションコントロールコンポーネントで構成されています。 また、157 nmの紫外線は酸素分子に吸収されるため、Exicor DUVシステムはサンプルチャンバー内に独自の局所酸素置換システムを採用しています。 このクリーンな乾燥窒素パージ環境は、DUVサンプルチャンバー内のオゾンの発生も防止します。 193 nmと248 nmの測定ではパージは必要ありません。 このシステムの大型スキャニングステージは、複数の小さな部品をステージ上にロードすることができ、オプションのExicor Macro+ソフトウェアにより、それぞれの部品を個別にスキャンする自動ルーチンを実行することが可能です。