複屈折測定システム Exicor® 500 AT

3D部品

Exicor 500AT は、Exicor 450AT システムに代わる全く新しいデザインのフレームです。この新しい複屈折測定システムファミリーの「ヘビーリフター」は、より大きく、より多くのサンプルに対応するために、新しい効率と改善された堅牢性をもたらします。このモデルは、リソグラフィーアプリケーション用の厚いレンズブランクや、その他の大型で重い部品（最大500mm×500mm、厚さ400mm以上）の測定に最適です。500ATは、ハインズ社のExicor 450ATシステムの特徴である実績あるフレームとモーションコントロールコンポーネントを改良しています。 この新しい設計では、前方へ簡単にアクセスできるステージを備えており、試料の測定領域は、試料の3方向と上方にある潜在的な障害物を完全に取り除くことができます。また、ステージが大きくなったことで、バッチスキャンアプリケーションで複数の部品を一度にロードしたり、生産ライン自動化統合アプリケーションでより明確なアクセスを提供することが可能になりました。500AT にオプションの Exicor Zones™ ソフトウェアを追加すると、各パーツを個別にスキャンし、各「ゾーン」に個別のファイル名を割り当てる自動ルーチンを実行するようにシステムをセットアップすることが可能です。このソフトウェアにより、ユーザーはルーチンを開始し、複数のシフト、夜間、あるいはそれ以上の時間（アプリケーションによる）、介入することなく実行させることができます。 2つの測定範囲オプション（高感度および拡張範囲）から選択可能なこのシステムは、大きなサンプルの厳しい要件に対応するのに適しています。オプションの高速スキャンパッケージにより、高空間分解能スキャン（グリッド間隔1mm以下）が実用化されます。 特徴 高耐久性自動XYステージ 複屈折パラメーターの2Dおよび3Dグラフィック表示