Hinds Instruments は、特定の低レベルのミューラー・マトリックス要素を区別するために超高感度と再現性を必要とする困難な研究および産業プロセスアプリケーションのための最新かつ最も進んだミューラー・マトリクス偏光計システムを導入しています。この新しいExicor®XTシリーズ4 PEMミューラー偏光計システムは、弊社のアプリケーション研究グループがニューヨーク大学のKahrグループとの共同プロジェクトで開発し、光学研究、結晶研究、フラットパネルディスプレイ、光リソグラフィーアプリケーションにおける主要顧客に最高クラスのソリューションを提供してきました。これらのアプリケーションには、以下のような測定が必要です。
√ 16個のミューラーマトリックス要素
√ 低レベルの線形および円形リタデーション、それらの間の最小限の相互作用
√ DUV光の6つの偏光パラメータ(直線偏光-大きさと角度、円偏光-大きさ、直線偏光-大きさと角度、円偏光-大きさ)、およびそれらの間の相互作用を最小限に抑える。
√ 線形および円形リタデーション、これらの間に有意な相互作用がある場合。
特徴
-16個のミューラー行列要素すべての同時測定
-すべての偏光パラメータの決定と脱偏光の推定
-最高レベルの感度
-ラボラトリーグレードの再現性
-偏光特性のカスタマイズも可能です。
-最小限の波長制限 (DUVからIR)
-垂直入射および斜め入射が可能
-床置き型、ベンチトップ型、カスタムパーツホルダーを追加できるフレキシブルなステージ
-生産工程に適した測定サイクルタイム
-豊富なデータ解析機能を備えたソフトウェア・パッケージ
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