電界放出形走査電子顕微鏡 SU7000

分析用BF-STEMDF-STEM

低加速電圧での高い像質、複数信号同時取得などに加え、広域視野観察、In-Situ観察など現在のFE-SEMでは高い能力と多くの機能が要求されています。 SU7000は多様化するニーズにおいて情報最大化を目ざして創られた、「新しいSEM」です。 SU7000がもたらす世界を体感してください。 1.多彩なイメージング能力 広視野全体像から表面微細構造まで、SU7000は多様な信号の迅速取得を目ざして設計されました。 複数の二次電子信号・反射電子信号が同時に取得できるようにデザインされた電子光学系/検出系はより短い時間で多くの情報をユーザーにもたらします。 2.マルチチャンネルイメージング イメージングニーズの増加に伴い、装着される検出器の数も増加していますが、表示もそれに見合う機能が必要です。 SU7000では最多6チャンネルでの信号同時表示/保存が可能です。 取得情報の最大化を強力にアシストします。 3.多様な試料形状・観察手法に対応 • 大型試料観察 • 低真空観察 • クライオ観察 • その場観察 などに対応するための試料室や真空系を備え、多様な観察手法に応えます。 4.マイクロアナリシス ショットキーエミッター搭載の電子銃による最大200nAの照射電流は余裕を持って各種マイクロアナリシスに対応します。 EDXをはじめとしたX線分析、EBSD、カソードルミネッセンスなどを想定した試料室形状/ポートレイアウトと合わせ、分析アクセサリーの組み合わせの多様化に備えています。 情報取得最大化を目ざした検出系 試料と求められるデータも多様化に伴い、多くの情報を短時間で捉える能力が要求されてきています。 SU7000の検出系は形状情報、組成情報、結晶学的情報、発光などの信号を取得する上で、WDなどの条件変更を極力最小化することを目ざしました。 より早く、より多くの情報取得をサポートします。