電子顕微鏡 NP6800

分析用測定高解像度

日立NP6800は、設計ノード10nm以降の半導体デバイスの分析ニーズに対応するために設計されたSEMベースの専用プロービングシステムです。 精密ピエゾ駆動アクチュエータを搭載し、X軸、Y軸、Z軸のプローブ移動が可能なため、プローブを高精度に制御し、1個のMOSトランジスタの電気特性を測定することができます。 設計コンセプトは、直感的なプローブ操作設計により、真空環境下でも同じ操作性を維持しながら、（光学式プロービングシステムのような）使いやすいプロービングシステムを実現することでした。 - このSEMベースのプロービングシステムは、あらゆるナノスケール半導体デバイスの製造プロセス中に発生する可能性のある欠陥や不具合を分析するために使用されます。 - NP6800ナノプローバーは、最適化された冷電界放出電子源、8プローバーシステム、-40 F～302 F（-40 deg. ～ 150 deg.）の温度制御ステージ、ゲート抵抗検出用AC測定システム（オプション）、ショートおよびオープン故障の特定用EBACシステム、最高のスループットを実現するプローブおよび試料交換ユニットを採用しています。 - ナノプローバNP6800は、高スループット動作だけでなく、ナノスケール半導体デバイスの高安定測定に対応したナノプロービング専用システムとして開発されました。ナノスケールデバイスの電気特性、EBAC、EBIC、パルスIV、要求温度などの評価が可能です。