自動標本準備システム ZoneTEM II

走査型電子顕微鏡用掃除用卓上型

試料の前処理や保管を行う際、試料表面に付着したハイドロカーボンを観察前にUV照射により除去し、観察時のコンタミネーション形成を低減する日立TEM/STEMおよびインレンズSEM用のクリーナーです。 少ないダメージで試料表面の汚損を除去することが可能なため、ダメージに敏感な試料へも適応可能です。 波長185nmと254nmのUV照射光によりチャンバー内残存酸素分子からオゾンおよび活性酸素（原子状酸素）を生成します。試料表面のハイドロカーボン分子と活性酸素が反応し、CO2、H2Oなどの揮発性分子となり、試料表面から剥離します。発生したオゾンと剥離した揮発性分子はオゾン除外装置を含むドライ真空排気系により、安全にチャンバー外に排出されます。 コンタミネーション低減により本来の試料表面が観察可能 電子顕微鏡用の試料作成・保管中に、試料表面にハイドロカーボンが付着し、電子ビーム照射時にコンタミネーションが形成され、高分解能観察や分析の妨げになります。 ZONETEMⅡは、UV光を照射して試料表面に付着したハイドロカーボンを除去、電子顕微鏡での観察時に試料表面に形成されるコンタミネーションを低減することができます。 高スループットでフレキシブルなセットアップが可能 日立ハイテク製の各サイドエントリ試料ホルダに試料を装着したまま、サンプルを表裏同時に処理可能。 同時に複数サンプルを処理可能 LCDタッチパネルによる操作 簡便なサンプル装着/取り出し レシピ機能（10個）を標準搭載 省スペース卓上形 本体寸法：334 mm(W) × 355 mm(D) × 250 mm(H) 1分単位でデジタルにクリーニングが可能 1分～30分（1分単位で設定可能） ドライ真空排気系 ダイアフラムポンプを搭載、100段階の真空圧設定が可能です。 UV照射時、チャンバー内を真空にすることにより、表面改質および洗浄の効率が上がります。