ウエハ－ス用調整システム HPA series

機械式高精度

ウェーハアライナーHPAは、透明、半透明、不透明ウェーハを確実にアライメントします。標準プロセス、反りプロセス、エッジコンタクトプロセスのいずれを使用しても、新モデルは直径2インチから12インチまでのウェーハをわずか数秒でアライメントします。ウェーハのセンタリングとアングルアライメントには、スピンドル駆動による3軸の可動式HIWINが使用されます。アライナーのモデルにより、X-YユニットまたはX-Zユニットが使用されます。コンパクト設計のHPAシリーズは、要求の厳しいシステムコンセプトへの組み込みにも最適です。半導体産業でのアプリケーションに理想的なHPAシリーズのウェハーアライナーは、クリーンルームクラスISO 3に適しています。