概観
GA-360E/F360Eシリーズは半導体の製造工程で使用されるガス(N2、O2、彼、Ar、H2および空気)に含まれている不純物の微量の超高度の敏感で、極めて正確な、連続的なモニタリングを提供する単位の整列である。 十字調節方法を利用して、GA-360E/F360シリーズ単位にゼロガスおよび通常の時間比較の同時分析によるゼロ漂流がないし、長期、安定した測定の価値を提供する。 19インチの棚は容易なシステム改善のために作る。 GA-360E/F360シリーズ検光子は半導体のガスの生産設備で使用のためにうってつけである。
GA-360Eシリーズプロダクト文献
特徴
単位はCO、二酸化炭素およびCH4のための1部品の分析の機能内の最高の2部品機能が装備され、2つの部品の集中の同時デジタル表示装置が可能である。
単位に十字調節方法を使用し、ゼロ漂流、安定した長期、それにより連続的な表示価値が提供ある。
光学調節のための必要性の除去は容易な維持のために作る。
流れ容積(圧力)、チョッパーモーター(電磁石弁)、偶然の火の警告(GA-360E)、および電気源の警報システムのためのself-monitoring機能はあらゆる不規則性に速い警報をユーザーに与える。
---