分光学エリプソメータ UVISEL 2 VUV

UVISEL 2 VUVはVUVの測定のための位相変調のellipsometerのneの生成である。それは、147から2100 nmまで最も大きい波長範囲上の最も速い薄膜の測定を利用できる、主要な分光ellipsometer運ぶように意図されていてである。UVISEL 2 VUVは窒素か必要な真空の下に半々のellipsometer、2つのモードではたらくことのための適合、である。その機械輪郭は6l/minに低い窒素の利用のために改良され、速いサンプル ローディングを考慮する。8つの点サイズの選択は最低区域の測定のために完全であり、前部のすみやかに利用できる部屋は非常に適したに荷を積むサンプルを作る。それは二重高い発電の活力の源、高い効率の光学、Caf2写真適用範囲が広い変調器をおよび2つの高度のモノクロメーター組み込む。UVISEL 2 VUVはVUVの波長で高い感受性を与える。