デジタル溶解酸素センサー HD-960LR

プロセス

化学物質との互換性を拡大し、半導体製造における歩留まり向上に貢献する 株式会社堀場アドバンスドテクノは、半導体・半導体製造装置メーカー向けの新型溶存酸素計「HD-960LR」を開発し、2021年7月1日より販売を開始しました。 近年の半導体の小型化・高性能化に伴い、半導体製造工程で使用される薬品も多様化しており、それぞれに適切な管理が必要となっています。今回発売する溶存酸素計は、半導体製造工程で使用される薬品の溶存酸素量を高精度に連続監視します。新たな内部センサー機構の追加により、電解質の劣化を抑え、アンモニア水や特定の有機溶剤への対応も拡大しました。また、この新機構の採用により、業界トップクラスのセンサー交換サイクル（約1年）を実現しています。HD-960LRは、当社従来品と比較して、超純水で約1.3倍、アンモニア水で約70倍のセンサー寿命を実現している。センサーの交換間隔が長くなることで、業務の効率化につながります。 HORIBAグループは、今後もお客様の幅広いニーズにお応えし、半導体製造の歩留まり向上に貢献していきます。 半導体の製造工程では、ナノメートル単位の異物でも半導体の故障の原因となる可能性があります。