光学分光器 GD-Profiler 2™

プロセスグロー放電用

GD-Profiler 2™ は、すべての要素に対して高い感度を持つ薄層および厚層の超高速な元素深度プロファイル分析を提供するため、コーティングされた材料研究、プロセスの精緻化、および制御に理想的な分析ツールです。 このシステムは、パルス無線周波数によって駆動されるグロー放電源と、調査された材料の代表的な領域をレイヤーごとにスパッタする能力を組み合わせ、関心のあるすべての要素をリアルタイムで測定する高分解能および高感度の発光分光器と共に組み合わせます。 ガス窒素、酸素、水素、塩素などの元素を迅速に同時に分析できます。