熱式質量流量計 LF-F series

質量液体用インライン

冷却測定方式の質量流量センサーを搭載した液体用マスフローコントローラ&メータです。 冷却測定方式のセンサー搭載により、センサー部での加温を行わないため、低蒸気圧材料から純水など幅広い液体の流量計測制御が行えます。 流量制御部には、デッドボリュームが無いメタルダイヤフラム構造のバルブを搭載し、µリッター/分レベルの微量流量を正確に精度良く流量制御が行えます。専用の気化器との組み合わせにより、純水や液体材料の気化（ガス化）システムが構築できます。 デジタル回路の採用により、高精度・高速応答が実現 マイクロリッターからの微小流量制御が可能 低沸点液体材料、高粘度液体材料の精密流体制御が可能 ウルトラクリーン対応 RoHS指令対応