純水や液体材料を気化(ガス化)する気化システムです。キャリアガスを用いた気液混合方式により液体材料を瞬時に気化します。
システム構成として、液体材料の流量計測を行う"液体マスフローメータ"、キャリアガスの流量制御を行う"マスフローコントローラ"および気化システム"MI/MV"を基本構成とし、お客様のご用途に応じて、バルブ、フィルター、加温ヒーターなどの機器をシステムアップします。
気液混合気化方式により、高沸点液体材料の安定気化が実現
高効率気化方式により、自己分解材料の安定気化が実現
低温度・大流量発生が可能
コンパクトな気化システムの構築が行え、理想的なレイアウトデザインが可能
RoHS指令対応