高精度圧力センサ、高分解能・高速応答のピエゾバルブを採用したデジタル制御回路搭載のオートプレッシャレギュレータです。
オールメタル構造(接ガス部)、デッドボリュームフリーの構造を採用し、腐食性ガスや低蒸気圧ガス等の安定した圧力制御が行えます。外部信号による遠隔操作が可能で、総合的な性能評価を必要とするガスセンサーや耐圧評価システム等の総合的なガスの制御を必要とするシステムへの搭載に最適です。
ピエゾバルブと圧力センサを搭載し、瞬時の圧力変造においても安定した圧力制御が可能
高速応答:0.5秒以内
取付姿勢が自由はフリーマウントデザイン
一次側制御タイプ(-Bタイプ)、二次側制御タイプをラインアップ
ゲージ圧タイプ、絶対圧タイプより選択可能
デジタル/アナログ通信、DeviceNet™通信対応
RoHS指令対応
オールメタル構造のウルトラクリーン対応モデル