液体材料をベーキングシステム(LSC シリーズ)、インジェクションシステム(MI、MV、VCシリーズ)へ“自動的に”“安全に”“無駄無く”供給可能な液体材料の自動供給システムです。
オペレートミス対策として危険が伴うタンク交換時の残液除去シーケンスの自動化も標準搭載しています。またメンテナンス性の高効率化を行いスループット向上のご提案を行えるモデルです。
マザータンク交換時の安全性を確認する「蒸気圧監視による残液モニタ機能」を標準搭載
ロードセルによるマザータンク内の残材料重量の監視が可能 ※オプション
コンパクトサイズ、メンテナンス性の向上を図ったデザインを採用
脱気モジュールを標準搭載し、インジェクション方式やベーキング方式等様々な気化システムへの供給が可能
操作性の向上:シーケンスの自動化によるミスオペレート防止機能、前面タッチパネルによる簡単な操作。
安全性の向上:各種モニタリングデバイスによるトータルコントロール化と異常発生時の緊急自動停止機能を装備。
配管デッドボリュームを極少化:集積ガスシステムを採用。
複数台のベーキングシステム、インジェクションシステムへ自動供給が可能。