ガス圧力コントローラ GR-300

GR-300 Seriesは、ウェハ裏面の温度制御に不可欠なヘリウムガスやアルゴンガスなどの伝熱性ガスの圧力制御を安定性良く、高精度に行います。高速・高分解ピエゾバルブとマスフローセンサを搭載しており、正確・安定的に微差圧制御を行うのみならず、流量計測も可能です。 正確・安定供給 マスフローセンサを搭載 マスフローコントローラで広く採用されているマスフローセンサを搭載し、材料ガス供給プロセスと同等の精度で実流量のモニタが可能。 マスフローコントローラと同等サイズ マスフローコントローラと同等のサイズ・継手に対応しているため同様の設計施工が可能。